Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем

Учебное пособие. — Высшая школа, 1989. — 320 с.: ил. — ISBN 5-06-000123-7.В книге рассмотрены математические модели интегральных микротехнологий, приборов и схем.
Описаны основные принципы построения моделей, технологических, физико-топологических, схемных, элементно-фрагментных и методы идентификации их параметров, рассмотрены основы математического обеспечения численного расчета БИС.
Для специальности "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники".Предисловие.
Введение.
Пути и перспективы развития кремниевой интегральной электроники и сквозного многоуровневого моделирования БИС.
Модели технологических процессов изготовления БИС.
Программное обеспечение моделирования технологии изготовления БИС.
Физико-топологические модели полупроводниковых структур.
Методы и алгоритмы численного физико-топологического моделирования полупроводниковых структур.
Электрические модели интегральных приборов для машинного расчета БИС.
Объединенное физико-технологическое моделирование.
Идентификация и корреляция параметров элементов быстродействующих БИС.
Оптимизация и макромоделирование интегральных быстродействующих элементов и схем.
Заключение.
Список литературы.
Предметный указатель.