Beeby S., Ensell G., Kraft M., White N. MEMS Mechanical Sensors

Artech House, 2004, 281 p. Язык - английский.
МЭМС механические датчики.
Данная книга посвящена обзору микроэлектромеханических преобразователей (МЭМС) на основе кремния. В введении в МЭМС определены некоторые из обычно используемых терминов, а также обсуждены причины использования кремния как одного из ключевых материалов в миниатюрных механических преобразователях. Глава 2 начинается с краткого обсуждения кремния, кварца и других материалов, которые обычно используются в МЭМС. Далее описаны многие из технологий производства и процессов, которые используются для реализации МЭМС приборов, к примеру процессы осаждения, литографии, травления, поверхностной микрообработки, присоединения пластин и др. Глава 3 рассматривает некоторые из коммерческих средств проектирования и пакетов программ для моделирования МЭМС устройств. В главе 4 описана техника корпусирования механических датчиков, включая процессы корпусирования, стандартные типы корпусов, способы минимизации нежелательных взаимодействий при корпусировании. Глава 5 представляет некоторые из основных принципов механических преобразований, включая пьезорезистивные, пьезоэлектрические, емкостную технику, оптическую технику, резонансную технику, актюаторную технику (электростатическую, тепловую, магнитную), а также интеллектуальные сенсоры. Эта глава в значительной степени предназначена для читателей, не имеющих базовых знаний в области машиностроения. Следующие четыре главы книги является специализированным и описывают специфические микромеханические приборы, включая датчики давления, датчики силы и крутящего момента, инерциальные датчики и датчики расхода. Эти приборы используют многое из принципов и технологий, описанных ранее в данной книге.
Книга предназначена для исследователей и специалистов по электронике, электротехнике или физике, занимающихся МЭМС устройствами и микросистемной техникой. Она также предназначена для студентов и аспирантов вузов соответствующего профиля, изучающих курсы микромеханических датчиков.Materials and Fabrication Techniques
MEMS Simulation and Design Tools
Mechanical Sensor Packaging
Mechanical Transduction Techniques
Pressure Sensors
Force and Torque Sensors
Inertial Sensors
Flow Sensors