Korvink J.G., Paul O. (редакторы). MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications

William Andrew Publishing, 2006, 992 p. Язык - английский.
МЭМС: Практическое руководство для конструирования, анализа и применения.
Данное практическое руководство, написанное коллективом авторитетных специалистов и экспертов под ред. профессоров Яна Корвика и Оливера Пауля из Фрайбургского университета (Германия) призвано обеспечить доступ к всеобъемлющим ресурсам по МЭМС приборам, системам, производственным технологиям и методологии проектирования всем категориям специалистов, работающих в быстро развивающейся МЭМС отрасли промышленности.
МЭМС (микроэлектромеханические системы) являются наименьшими функциональными машинами, спроектированными в настоящее время человеком. МЭМС позволяют формировать датчики и исполнительные механизмы вместе с измерением, управлением и схемами формирования сигнала, системами связи и автономным энергообеспечением, при этом все это размещается в крошечном объеме.
Книга состоит из 17 глав и охватывает физические принципы работы различных МЭМС устройств, конструкции на их основе, материалы и технику изготовления.
Данное руководство предназначено для специалистов, специализирующихся в разработке, производстве и применении МЭМС устройств и микросистемной техники, также может быть полезно преподавателям, аспирантам и студентам вузов соответствующего профиля.Microtransducer Operation
Material Properties: Measurement and Data
MEMS and NEMS Simulation
System-Level Simulation of Microsystems
Thermal-Based Microsensors
Photon Detectors
Free-Space Optical MEMS
Integrated Micro-Optics
Microsensors for Magnetic Fields
Mechanical Microsensors
Semiconductor-Based Chemical Microsensors
Microfluidics
Biomedical Systems
Microactuators
Micromachining Technology
LIGA Technology for R&D and Industrial Applications
Interface Circuitry and Microsystems.