Алейников А.Ф., Гридчин В.А., Цапенко М.П. Датчики. Перспективные направления развития

Учебное пособие. — Под ред. проф. М.П. Цапенко. — Новосибирск: НГТУ, 2001. — 176 с. — ISBN 5-7782-0300-4.В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках.
Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Приведены основные физические эффекты, используемые в датчиках.
Даны сведения о биологических датчиках.
Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков.
Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматику и микроэлектронику.Содержание.
Предисловие.
Определение использованных терминов.
Основные понятия и определения.
Датчики. Сенсоры. Чувствительные элементы.
О классификации датчиков.
Список литературы к главе.
Одномерные многоступенчатые датчики.
Варианты построения и метрологические характеристики.
Автоматизация поиска набора последовательности физических явлений.
Основные положения.
Методика поиска структуры.
Результаты поиска принципов действия многоступенчатых датчиков.
Список литературы к главе.
Многомерные датчики.
Методы разделения входных величин.
Двухмерные датчики.
Трехмерные датчики.
Коррекция погрешностей измерительных сигналов многомерных датчиков.
Список литературы к главе.
Биодатчики.
Основные понятия и определения.
Основные принципы действия и метрологические характеристики.
Список литературы к главе.
Микроэлектронная технология изготовления датчиков.
Основные этапы кремниевой микроэлектронной технологии.
Специальные вопросы технологии микроэлектронных датчиков.
Технология соединения элементов конструкции датчика.
Применение микроэлектронных технологий для создания датчиков.
Тенденции производства микроэлектронных датчиков.
Список литературы к главе.
Приложение.
Основные физические эффекты, используемые в датчиках.
Датчики температуры.
Датчики силы и давления.
Датчики перемещений и деформаций.
Датчики магнитной индукции.
Датчики светового потока.
Датчики влажности.
Радиационные датчики.