Варламов П.И., Елсуков К.А., Макарчук В.В. Конспект лекций по курсу Технологические процессы в наноинженерии

Библиотека наноинженерии. - М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008, 90 с.
Представлено учебно-методическое обеспечение поддержки подготовки бакалавров и магистров по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия".
Материалы учебно-методического комплекса соответствуют программам подготовки бакалавров/магистров, реализуемым в МГТУ им. Н. Э. Баумана.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений.
Будет полезно всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных схем различного назначения.