Коноплёв Б.Г., Лысенко Е.И. Компоненты микросистемной техники. Часть 1

Учебное пособие. — Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2009. — 117 с.В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые в первых 12 лекциях, читаемых в рамках дисциплины «Компоненты микросистемной техники».
Целью преподавания дисциплины «Компоненты микросистемной техники» является формирование знаний об элементах и компонентах микросистем, базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения.
Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.Введение.
Основные понятия и термины.
Контрольные вопросы.
Параметры и характеристики микросистем.
Термины, определения и буквенные обозначения параметров и характеристик МСТ.
Классификация сенсорных компонентов МСТ.
Контрольные вопросы.
Чувствительные элементы для микросистем.
Пьезорезистивные чувствительные элементы.
Емкостные чувствительные элементы.
Пьезоэлектрические чувствительные элементы.
Резонансные чувствительные элементы.
Чувствительные элементы на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Контрольные вопросы.
Сенсорные компоненты МСТ. Пьезоэлектрические датчики.
Контрольные вопросы.
Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2.
Сенсоры температуры на основе термопар.
Сенсоры магнитного поля.
Контрольные вопросы.
Сенсорные компоненты МСТ. Сенсоры угловых скоростей.
Волоконно-оптические гироскоп.
Микромеханические сенсоры угловых скоростей.
Контрольные вопросы.
Сенсорные компоненты МСТ. Сенсоры линейных ускорений.
Микромеханические акселерометры L-типа.
Микромеханические акселерометры R-типа.
Акселерометры с нагреваемой пластиной.
Акселерометры с нагреваемым газом.
Контрольные вопросы.
Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи.
Интегральные микромеханические ключи.
Контрольные вопросы.
Интегральные микрозеркала.
Контрольные вопросы.
Интегральные микродвигатели.
Электростатические воздушные планарные микродвигатели.
Электростатические диэлектрические планарные.
микродвигатели.
Пьезоэлектрический микродвигатель.
Контрольные вопросы.
Катушки индуктивности в микросистемах.
Пассивные компоненты микросистем: достоинства и недостатки.
Индукторы в микросистемах.
Собственная индуктивность и взаимная индуктивность.
Индуктивные элементы микросистем.
Индукторы из меандров.
Контрольные вопросы.
Катушки индуктивности в микросистемах.
Спиральные индукторы.
Соленоидные индукторы.
Контрольные вопросы.
Заключение.
Библиографический список.