Ворзобова Н.Д., Денисюк И.Ю. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем

СПб.: СПбИТМО, 2008. – 100 с.В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем (MEMS и MEOMS), в том числе фотонных кристаллов, основанные на оптических методах: оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и наноразмеров.
Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Микросистемная техника» и «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей.