Батенин В.М. и др. СВЧ-генераторы плазмы. Физика, техника, применение

Батенин В.М., Климовский И.И., Лысов Г.В., Троицкий В.Н. - М.: Энергоатомиздат, 1988. - 225 с.Описаны основные физические процессы, определяющие свойства и характеристики СВЧ-разрядов при давлениях от 100 Па до атмосферного. Детально проанализированы механизмы распространения фронта разряда в атомарных и молекулярных газах. Описаны специфические формы разрядов во внешнем магнитном поле и при совместном воздействии СВЧ- и постоянного электрических полей. Приведены методы расчета напряженности электрических СВЧ-полей и их энергетической эффективности в плазме для различных схем СВЧ-плазмотронов. На примере производства мелкодисперсных порошков нитридов титана, циркония и гафния продемонстрированы возможности использования СВЧ-разрядов в современной технологии.
Для научных сотрудников и инженеров, занимающихся физикой плазмы и плазменной технологией. Полезна студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специальностей.Движущиеся СВЧ-разряды
Общие сведения о движущихся СВЧ-разрядах. Механизмы движения
Методы получения и исследования. Идеализированная структура движущихся разрядов
Классификация механизмов движения
СВЧ-разряды, распространяющиеся в волноводах в молекулярных газах
Модель разряда, движущегося в воздухе
Результаты экспериментальных исследований при давлениях 10³—10⁴ Па
Анализ механизма движения разрядов в молекулярных газах при давлениях 10³—10⁴ Па
СВЧ-разряд, движущийся в воздухе при атмосферном давлении
СВЧ-разряды, распространяющиеся в волноводах в инертных газах
СВЧ-разряды, распространяющиеся вследствие диффузии резонансного излучения
Результаты экспериментальных исследований СВЧ-разрядов, движущихся в аргоне при давлениях 10³—10⁵ Па
Анализ механизма движения разрядов в инертных газах
Особенности и механизм движения СВЧ-разрядов в гелии
СВЧ-разряды, распространяющиеся по лучу электромагнитного излучения в молекулярных газах
Разряд в воздухе при атмосферном давлении
Разряд в азоте
Стационарные СВЧ-разряды
Параметры плазмы стационарных равновесных СВЧ-разрядов
Основные используемые допущения
Постоянно-токовая аналогия
Экспериментальное исследование параметров плазмы равновесного СВЧ-разряд а в азоте
СВЧ-разряд в водороде
Стационарные неравновесные СВЧ-разряды в инертных газах
Разряды при низком давлении
Разряды в гелии при атмосферном давлении
Разряд в смеси аргона с водородом
Стационарный комбинированный разряд в смеси аргона с водородом
СВЧ-разряд во внешнем магнитном поле
Стабилизация движущегося СВЧ-разряда внешним магнитным полем
Подавление винтовой неустойчивости дугового разряда СВЧ-полем
Техника СВЧ-плазмотронов
Интегральные электродинамические характеристики СВЧ-плазмотронов
Основные характеристики и конструктивные схемы СВЧ-плазмотронов
Эквивалентные схемы СВЧ-плазмотронов
К вопросу об устойчивости режима работы СВЧ-плазмотронов
Электрические поля и энерговыделение в плазменном столбе
Распространение электромагнитных волн в цилиндрическом волноводе с плазменным столбом
Электрические поля в плазменном столбе и особенности ввода энергии для волн различных типов
Экспериментальное исследование электрических полей в СВЧ-разряде
Основы проектирования СВЧ-плазмотронов
Условия формирования плазменного столба в газоразрядной камере
Сравнительный анализ основных типов СВЧ-плазмотронов
Возможность создания СВЧ-плазмотронов большой мощности
Получение ультрадисперсных нитридов в плазме СВЧ-разряда
Современные методы синтеза нитридов
Твердофазные и газофазные реакции
Низкотемпературная плазма в технологии получения нитридов
Термодинамический анализ хлоридных процессов получения нитридов
Технологические проблемы плазмохимического синтеза нитридов
Схема технологического процесса получения нитридов в плазме СВЧ-разряда
Влияние технологических характеристик плазмохимического процесса на дисперсность порошков нитридов
Синтез сложных нитридов в плазме СВЧ-разряда
Свойства ультрадисперсных порошков нитридов
Физико-химические свойства
Технологические свойства