Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Ивановский Г.Ф. Ионно-плазменная обработка материалов

  • Файл формата djvu
  • размером 82,41 МБ
Ивановский Г.Ф. Ионно-плазменная обработка материалов
М.: Радио и связь, 1986. - 232 с. Скан разворотами
Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования для ее осуществления, возможности автоматизации процессов. Для инженерно-технических работников, занимающихся ионно-плазменной технологией.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

  • djvu
М.: Техносфера, 2007. — 176 с.: цв. ил. — ISBN 978-5-94836-134-5. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей...
  • 1,44 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология

  • pdf
Баку: Элм, 2007. - 175 с. В книге рассматриваются физические процессы, лежащие в основе работы ионных и плазменных источников, а также их конструкции и функциональные параметры. Описываются методы масс-анализа состава ионных пучков и остаточного газа в вакуумной системе. Характеризуются механизмы взаимодействия ускоренных ионов и электронов с веществом, способы осаждения...
  • 967,28 КБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

  • djvu
  • image
  • txt
М.: Энергия, 1967. — 312 с.: илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а...
  • 4,63 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Жданов С.К., Курнаев В.А. и др. Основы физических процессов в плазме и плазменных установках

  • pdf
Жданов С. К., Курнаев В. А., Романовский М. К, Цветков И. В. — М.: МИФИ, 2000. Учебное пособие содержит изложение основ физики плазмы и процессов, происходящих в приборах и установках, предназначенных для создания и практического применения плазмы, а также сведения об эмиссионных явлениях, используемых при генерации плазмы, сведения об элементах ионной и электронной оптики, о...
  • 3,58 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

  • pdf
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся...
  • 11,38 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник

  • djvu
Том 1, Том 2. / Перевод с англ. под ред Елинсона. - М.: "Сов. Радио", 1977. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии...
  • 29,89 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Наверх