Григорьев Ф.И. Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники

Учебное пособие. — Москва: Московский государственный институт электроники и математики, 2008. — 36 с.В пособии изложены основные физико-химические процессы протекающие в полимерах при имплантации ионов и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации. Рассмотрены ионно-лучевая литография и плазмохимическое травление полимеров. Кратко рассмотрены перспективы создания новых электронных устройств и элементов интегральной оптики на основе ионно-имплантированных полимеров.Введение.Химическое строение и физические свойства полимеров.
Строение органических полимеров.
Структура различных форм углерода.
Электрические и оптические свойства полимеров.
Физические состояния полимеров.Взаимодействие ускоренных ионов с полимерами.
Торможение ионов в полимерных материалах.
Физико-химические процессы, индуцируемые в полимерах при имплантации ионов.
Кинетика радиационно-химических процессов в полимерах при имплантации ионов.
Изменение свойств полимеров в результате имплантации ионов.Процессы ионно-плазменной обработки полимерных материалов.
Ионно-лучевая литография.
Фото- и электронорезисты в качестве масок при ионном травлении материалов.
Плазмохимическое травление полимерных материалов.Перспективы создания новых электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров.Контрольные вопросы.
Библиографический список.