Рощин В.М., Силибин М.В. Технология материалов микро-, опто - и наноэлектроники. Часть 2

М., БИНОМ. Лаборатория знаний , 2010, 186 стр.Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.