Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Громов Д.В., Краснюк А.А. Материаловедение для микро- и наноэлектроники

  • Файл формата djvu
  • размером 4,35 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Громов Д.В., Краснюк А.А. Материаловедение для микро- и наноэлектроники
Учебное пособие. - М.: МИФИ, 2008. - 156 с.
Рассматриваются основные перспективные материалы и технологии полупроводниковой микро- и наноэлектроники, включающие разработку элементной базы для субмикронных и глубокосубмикронных СБИС на кремнии, на широкозонных полупроводниках и гетероструктурах.
Предназначено в качестве учебного пособия для студентов, обучающихся по специальности "Электроника и автоматика физических установок" по направлению подготовки "Ядерные физика и технологии", программа "Электроника физических установок".
Пособие подготовлено в рамках Инновационной образовательной программы.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация