Umrath W. Fundamentals of Vacuum Technology

Fundamentals of Vacuum Technology. Revised and compliled by Dr.Walter Umrath. - Cologne, 1998. - 187 p. (на англ. яз. )
Качество: отличное (не скан).
Подробное руководство по вакуумной технике и технологии, составленное коллективом авторов из компании Leybold Vacuum под руководством д-ра Вальтера Умрата. Предлагаемый вниманию читателя текст сочетает достаточную научную строгость подхода с понятным и наглядным стилем изложения. Текстовый материал дополнен большим количеством иллюстраций и таблиц; включено значительное количество справочного материала.
Разумеется, особое внимание уделено продукции компании Leybold Vacuum.
Оглавление
Определения физических величин, их символы, единицы измерения.
Получение вакуума.
Измерение и регулирование вакуума.
Анализ состава газа при низких давлениях методом масс-спектрометрии.
Поиск и измерение течей.
Измерители толщины пленок на кварцевых резонаторах и контроллеры процессов напыления на их основе.
Применения вакуумных технологий для нанесения покрытий.
Рекомендации по эксплуатации и техническому обслуживанию вакуумного оборудования.
Таблицы, формулы, номограммы и символы.
Международная система единиц СИ для измерения вакуумных величин.
Национальные и международные стандарты, относящиеся к вакуумной технологии.