Малышев К.В. и др. Методы формирования наноструктур при производстве наноприборов. Часть 1: Молекулярно-лучевая эпитаксия нанослоев, нанонитей и наночастиц

Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. - 49 с.
Рассматриваются процессы изготовления наноструктур различных размерностей. В первой части рассмотрены методы выращивания 2D- наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D- наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно лучевой эпитаксии (МЛЭ).
Для студентов специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств».