Белокрылов И.В. Основы вакуумной техники

Конспект лекций. — Омск: Изд-во ОмГТУ, 2007. — 48 с.Физика вакуума
Основные термины и определения.
Давление в вакууме.
Газовые законы.
Частота соударений молекул с поверхностью.
Распределение молекул газа по скоростям.
Сре6дняя длина свободного пути.
Сорбционные явления в вакууме
Энергия взаимодействия.
Время адсорбции.
Конденсация и испарение.
Адсорбция газов и паров.
Степени покрытия поверхности.
Растворимость газов в твердых телах.
Физические процессы в вакууме
Вязкость газов.
Перенос теплоты.
Скольжение разреженных газов.
Температурный скачок.
Процессы изменения состояния.
Стационарный режим работы вакуумных систем
Распределение давления в вакуумных системах.
Соединение арматуры и откачиваемых объектов.
Соединение насосов.
Расчет газовых нагрузок.
Расчет длительности откачки.