Сидоров А.И., Никоноров Н.В. Материалы и технологии интегральной оптики

Учебное пособие. — СПб.: СПбГУ ИТМО, 2009. — 107 с.В курсе лекций описаны основы оптики планарных волноводов, основные типы волноводных структур и их характеристики. Рассмотрены основы оптического материаловедения интегральной оптики, основные классы материалов, используемые в интегральной оптике, их характеристики и технологии синтеза, основные методы производства оптических волноводов. Приведены примеры интегрально-оптических устройств. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению 200600 "Фотоника и оптоинформатика" по магистерской программе "Оптические материалы фотоники и оптоинформатики" при изучении дисциплин "Волноводная фотоника", "Материалы и технологии волоконной и интегральной оптики", а также обучающихся по направлению 200200 "Оптотехника" при изучении дисциплины "Материалы лазерной оптоэлектроники".Вводные замечания.
Введение.
Классификация оптических волноводов для интегральной оптики.
Основы оптики волноводов для интегрально-оптических устройств.
Основные оптические эффекты, приводящие к волноводному распространению электромагнитной волны.
Основы оптики планарных волноводов.
Основы оптики полосковых волноводов.
Основы оптики гофрированных и брэгговских волноводов.
Основы оптики фотоннокристаллических волноводов.
Основы оптики плазмонных волноводов.
Материалы интегральной оптики: требования, классы, свойства и технологии.
Требования к оптическим материалам для интегральной оптики.
Монокристаллические диэлектрики и полупроводники.
Пленкообразующие материалы.
Стекла.
Оптические ситаллы.
Композитные материалы.
Металлы.
Методы и технологии изготовления планарных и полосковых волноводов.
Методы вакуумного нанесения.
Золь-гель методы.
Методы эпитаксии.
Методы диффузии.
Метод ионного обмена.
Метод ионной имплантации.
Методы фотолитографии.
Метод лазерной записи волноводов в стекле.
Пример технологии изготовления волноводной структуры из кремния по технологии SOI (silicon on insulator).
Специальные разделы техники и технологии интегральной оптики.
Заключение.
Контрольные вопросы.
Список использованной литературы.