Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостный разряд

  • Файл формата djvu
  • размером 4,73 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостный разряд
Москва: Изд-во МФТИ; Наука; Физматлит, 1995. — 320 с.
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления).
Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также научных работников и инженеров.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация