Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Powell R.A., Rossnagel S.M. Thin Films

  • Файл формата pdf
  • размером 13,60 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Powell R.A., Rossnagel S.M. Thin Films
San Diego, Academic Press, 1999. - 419 p.
Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы:
Физика распыления
Плазменные системы
Планарный магнетрон
Распылительные устройства
Направленное осаждение
Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления
Ионизованное магнетронное распылительное осаждение.
PVD материалы и процессы
Процесс моделирования магнетронного осаждения
Распылительные мишени
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Mahan J.E., Physical vapor deposition of thin films

  • pdf
Wiley, New York, 2000, 312 c. В книге сначала представлено введение о принципах и разрядных системах, используемых для плазменного осаждения пленок. Затем приведена кинетическая теория газов. Рассмотрены механизмы адсорбции и конденсации на поверхности. Дается краткий обзор о вакуумных системах, способах создания и контроля вакуума. Описаны источники, основанные на испарении,...
  • 5,18 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы

  • djvu
М.: Радио и связь, 1982. - 72с. Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде других областей, в которых используются пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных...
  • 5,83 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Жданов С.К., Курнаев В.А. и др. Основы физических процессов в плазме и плазменных установках

  • pdf
Жданов С. К., Курнаев В. А., Романовский М. К, Цветков И. В. — М.: МИФИ, 2000. Учебное пособие содержит изложение основ физики плазмы и процессов, происходящих в приборах и установках, предназначенных для создания и практического применения плазмы, а также сведения об эмиссионных явлениях, используемых при генерации плазмы, сведения об элементах ионной и электронной оптики, о...
  • 3,58 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Ивановский Г.Ф. Ионно-плазменная обработка материалов

  • djvu
М.: Радио и связь, 1986. - 232 с. Скан разворотами Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о...
  • 82,41 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

  • pdf
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся...
  • 11,38 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник

  • djvu
Том 1, Том 2. / Перевод с англ. под ред Елинсона. - М.: "Сов. Радио", 1977. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии...
  • 29,89 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Наверх