Francombe M.H., Vossen J.L. Physics of Thin Films. Vol.14. Contemporary preparative techniques

• Файл формата pdf
• размером 16,47 МБ

• Добавлен пользователем VisitorL, дата добавления неизвестна
• Описание отредактировано 06.03.2011 04:42

Academic Press, Boston, 1989, 260 c.
В книге представлены такие большие главы:
1) Реактивное распыление
2) Плазменное окисление
3) Катодное дуговое плазменное осаждение тонких пленок
4) Подготовка подложек для осаждения пленок с использованием методик тлеющего разряда