Светцов В.И., Смирнов С.А. Корпускулярно-фотонные процессы и технологии

Ивановский государственный химико-технологический университет. - Иваново, 2002. - 192 с.
Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям "Материалы и компоненты твердотельной электроники" и "Химическая технология материалов и изделий электронной техники".