Апокин И.А. Технология изготовления ферромагнитных пленок

М.-Л.: Энергия, 1966. — 80 с. с черт. — (Библиотека по автоматике. Выпуск 176).Рассмотрен ряд требований, предъявляемых к параметрам магнитопленочных элементов, используемых в устройствах хранения дискретной информации. Рассматривается зависимость физических свойств пленок от их химического состава, линейных размеров и особенностей процесса изготовления. Описываются различные способы изготовления магнитных пленок: вакуумное испарение, электролиз, катодное распыление, химическое осаждение. Дано краткое описание установок для изготовления пленок. Книга рассчитана на инженеров, работающих в области вычислительной техники.Предисловие.
Основные факторы, влияющие на магнитные свойства пленок.
Магнитные параметры пленочных элементов.
Химический состав пленки.
Форма пленки.
Толщина пленки.
Подложка.
Очистка подложки.
Термомагнитная обработка.
Изготовление пленок испарением в вакууме.
Эксперименты Блуа.
Глубина вакуума.
Скорость испарения.
Конденсация паров на подложке.
Испарители.
Вакуумные установки.
Изготовление пленок электролитическим осаждением, катодным распылением и химическим осаждением.
Электролитическое осаждение.
Катодное распыление.
Химическое осаждение.
Заключение.
Литература.