Булыгина Е.В., Макарчук В.В. и др. Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование

Учебное пособие для ВУЗов. - М.: САЙНС ПРЕСС, 2006. - 80 с.: илВ пособии изложены основные моменты теории и практики формирования и исследований наноструктурированных материалов. Приведен анализ наноразмерных структур-особенностей их свойств, методов изготовления и возможностей применения в приборных устройствах. Рассмотрены принципиальные возможности применения опаловых матриц для получения наноразмерных структур. Приведена оценка различных технологических методов нанесения металлических и изоляционных слоев на поверхность опаловых матриц. Рассмотрены методы нанесения тонких пленок в вакууме и электрохимического осаждения на поверхность опаловых матриц. Для студентов, аспирантов и инженеров, специализирующихся в исследованиях наноразмерных структур и методов их изготовления.