Королев А.П., Баршутин С.Н. Автоматизация технологического проектирования РЭС

Тамбов: Тамбовский государственный технический университет, 2006. — 76 с.Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физикотопологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств» всех форм обучения.