Томилин В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств

Учебное пособие - Красноярск: СФУ, 2007 - 468с.
В учебном пособии изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа.
Учебное пособие предназначено бакалавров и магистров направления 210200.62(68) «Конструирование и технология электронных средств». Оно может быть полезно студентам других специальностей, а также аспирантам и научными работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов.