Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники

Учебное пособие. — Таганрог: ТРТУ, 2005. — 103 с. — ISBN 5-8327-0231-X.В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы микросистемной техники (МСТ) и средства их проектирования. В первом разделе пособия кратко рассмотрены основные технологии изготовления элементов МСТ. Во втором и третьем разделах описаны конструкции и принципы функционирования сенсорных и актюаторных элементов МСТ, получивших наибольшее распространение за последнее десятилетие. Четвертый раздел данного пособия содержит описания существующих лабораторий-на-кристалле, принципов их работы и применения. В пятом разделе излагаются основы систем автоматизированного проектирования элементов микросистемной техники.Введение.
Технологические процессы изготовления элементов микросистемной техники.
Технология объемной микрообработки.
LIGA-технология.
Технология поверхностной микрообработки.
MUMPs-технология.
SUMMiT-технология.
Сенсорные элементы микросистемной техники.
Сенсоры температуры на основе термопар.
Сенсоры угловых скоростей.
Сенсоры магнитного поля.
Актюаторные элементы микросистемной техники.
Микронасосы.
Интегральные микрозеркала.
Интегральные микромеханические ключи.
Интегральные микродвигатели.
Лаборатории-на-кристалле.
Газовый хроматограф.
Жидкостный хроматограф.
Детектирующие устройства микролабораторий.
Проектирование элементов микросистемной техники.
Язык описания элементов микросистем VHDL-AMS.
Проектирование элементов МСТ в САПР Tanner Pro.
Проектирование элементов МСТ в САПР CoventorWare.
Программа конечно-элементного моделирования Ansys.
Заключение.
Библиографический список.