Анищик В.М., Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Понарядов В.В., Шпелевич В.Г. Физические основы ионно-лучевой технологии

Учебное пособие. — Минск: БГУ, 1985. — 43 с.Инструкции к лабораторным работам.Предисловие
Потери энергии и пробег заряженных частиц в твердых телах
Профили распределения примесей по глубине многокомпонетных материалов и двумерные профили при ионной имплантации через маску
Смещения атомов при облучении
Образование при имплантации