Аксенов А.И., Носков Д.А. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

Учебное пособие. — Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. — 110 с.В данном пособии описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твердым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причем раздельно рассматриваются источники ионов газов и твердых веществ, в частности ионов металлов. Приводятся возможные варианты классификаций оборудования, электронных пушек и ионных источников по характеру
процессов, взятых за основу при их конструировании.