Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем

Учебное пособие. — Томск: ТУСУР, 2006. — 154 с.Учебное пособие представляет собой конспект лекций по дисциплине "Технология тонкопленочных микросхем" для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и имеет методические указания по самостоятельной работе студентов.
Учебное пособие содержит разделы по получению рисунка ИМС, по технологическим основам пленочной микроэлектроники, элементам тонкопленочных ИМС, в том числе ГИС СВЧ, а также по технологиям и свойствам оптических покрытий.
Учебное пособие снабжено приложениями, необходимыми для выполнения контрольных работ и индивидуальных заданий.Введение.
Получение рисунка интегральных микросхем.
Технологические основы пленочной микроэлектроники.
Элементы тонкопленочных микросхем.
Типовые технологические процессы изготовления тонкопленочных ИМС.
Области применения тонких пленок.
Методические указания по самостоятельной работе студентов.
Литература.
Приложения.