Скоробогатова Л.А., Зубрицкий С.М., Петров А.Л., Семёнов А.Л. Технологии материалов для микро - и наноэлектроники

Иркутск, ИГУ, 2009. – 83 с.В учебном пособии последовательно описана технология производства интегральных схем. Приведены процессы обработки, нанесения, удаления и модификации вещества. Описаны особенности проведения операций, сборки и монтажа кристаллов, присоединения элек-
тродных выводов и герметизации.
Предназначено для студентов 4–5-х курсов специальности «Твердотельная электроника и микроэлектроника», «Радиофизика и радиоэлектроника», а также магистрантов и аспирантов.