Березин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструирование интегральных микросхем

Учебное пособие для вузов. — Под ред. И.П. Степаненко. — М.: Радио и связь, 1983. — 232 с.: ил.Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы планарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС.
Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе.Предисловие.
Основы планарной технологии.
Обработка кремниевых подложек.
Легирование кремния.
Эпитаксиальное наращивание слоев кремния.
Получение тонких пленок.
Фотолитография.
Технологический процесс изготовления полупроводниковых интегральных микросхем.
Технологические процессы изготовления тонкопленочных и толстопленочных гибридных интегральных микросхем.
Особенности технологии больших и сверхбольших интегральных микросхем.
Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем.
Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем.
Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем.
Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем.
Проектирование элементов МДП-интегральных полупроводниковых микросхем.
Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем.
Конструирование гибридных интегральных микросхем.
Конструирование больших интегральных микросхем.
Приложение.
Список литературы.
Предметный указатель.