Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы

М.: Радио и связь, 1982. - 72с.Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде других областей, в которых используются пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем проводящих, резистивных, сверхпроводящих, магнитных, диэлектрических, оптических и других пленок.
Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.