Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Lindroos V., Tilli M., Lehto A., Motooka T. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

  • Файл формата pdf
  • размером 16,83 МБ
  • Добавлен пользователем
  • Описание отредактировано
Lindroos V., Tilli M., Lehto A., Motooka T. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
William Andrew: Elsevier, 2010. — xxxii, 636 p. — (Micro & Nano Technologies). Series Editor - J. Ramsden.
Overview: Impact of Silicon MEMS—30 Years After
Silicon as MEMS Material
Modeling in MEMS
Measuring MEMS
Micromachining Technologies in MEMS
Encapsulation of MEMS Components
Appendices:
Common Abbreviations and Acronyms
Nanoindentation Characterization of Silicon and other MEMS Materials
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Gad-el-Hak M. (Ed.) MEMS: Design and Fabrication

  • pdf
2nd edition. — CRC Press, Taylor & Francis Group, 2006. — 647 p. As our knowledge of microelectromechanical systems (MEMS) continues to grow, so does The MEMS Handbook. The field has changed so much that this Second Edition is now available in three volumes. Individually, each volume provides focused, authoritative treatment of specific areas of interest. Together, they...
  • 43,50 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Gad-el-Hak M. (ed.) MEMS: Introduction and Fundamentals

  • pdf
Second edition. — CRC Press, 2006. — 488 p. — (Mechanical engineering series). — ISBN 978-0-8493-9137-8. As our knowledge of MEMS continues to grow, so does The MEMS Handbook. The field has changed so much that this Second Edition is now available in three volumes. Individually, each volume provides focused, authoritative treatment of specific areas of interest. Together, they...
  • 16,73 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Gad-el-Hak M. The MEMS Handbook

  • pdf
CRC Press, 2002. — 1332 p. The revolution is well underway. Our understanding and utilization of microelectromechanical systems (MEMS) are growing at an explosive rate with a worldwide market approaching billions of dollars. In time, microdevices will fill the niches of our lives as pervasively as electronics do right now. But if these miniature devices are to fulfill their...
  • 66,28 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Ghodssi R., Lin P., MEMS Materials and Processes Handbook

  • pdf
Springer, 2011. 1185 p. ISBN: 0387473165 MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The extensive 'Material Selection Guide' and a 'Material...
  • 26,97 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Korvink J.G., Paul O. (редакторы). MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications

  • pdf
William Andrew Publishing, 2006, 992 p. Язык - английский. МЭМС: Практическое руководство для конструирования, анализа и применения. Данное практическое руководство, написанное коллективом авторитетных специалистов и экспертов под ред. профессоров Яна Корвика и Оливера Пауля из Фрайбургского университета (Германия) призвано обеспечить доступ к всеобъемлющим ресурсам по МЭМС...
  • 19,95 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Kraft M., White Neil M. MEMS for Automotive and Aerospace Applications

  • pdf
Woodhead Publishing Limited, 2013. 355 p. — ISBN: 978-0-85709-118-5, ISBN: 978-0-85709-648-7. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) are miniature devices or machines which integrate elements such as actuators, sensors and a processor to form microsystems. The automotive sector is currently the biggest consumer of MEMS and this market, driven by safety legislation, is expected...
  • 14,69 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Наверх