Малюков С.П., Механцев Е.Б. Микросистемные сенсоры температуры

Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 50 с.В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении термозависимости различных типов резисторов и параметров транзисторов. Рассматривается также использование фиксации изменения температуры как промежуточный этап преобразований в сенсорах других типов: расходомерах, акселерометрах, химических анализаторах.Краткое содержание:
Введение.
Термоэлектрические сенсоры температуры.
Резистивные сенсоры температуры.
Полупроводниковые сенсоры температуры.
Пьезоэлектрические датчики температуры.
Использование сенсоров температуры в комбинации с другими преобразователями.
Бесконтактное измерение температуры.
Библиографический список.