Учебное пособие. 2-е изд., испр. и доп. - СПб.: Лань, 2008. - 400 с.
В учебном пособии изложены сведения о конструкторско-техноло-гических вариантах исполнения элементов и компонентов микросхем, микропроцессоров и микросборок. Дано детальное описание технологических маршрутов их производства. Особое внимание уделено вопросам анализа и синтеза технологических маршрутов, обеспечению качества изделий микроэлектроники и эффективности их производства. Представлены и проанализированы с точки зрения их использования в микроэлектронной аппаратуре распространенные конструкции изделий микроэлектроники.
Для студентов вузов, обучающихся но специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств».