Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС

Перевод с англ. В.В. Баранова под ред. Ю.Д. Чистякова. — М.: Мир, 1986. — 176 с.В книге известного американского специалиста в области технологии микроэлектроники рассмотрены и обобщены результаты исследований электрических, термодинамических и механических свойств силицидов - соединений кремния с переходными металлами. Описываются методы использования силицидов в технологии при создании полупроводниковых электронных приборов. В книге содержится большой объем тщательно систематизированного экспериментального материала.
Для широкого круга специалистов в области полупроводниковой техники и материаловедения, а также студентов и аспирантов.Предисловие редактора перевода.
Предисловие автора к русскому изданию
Предисловие автора.
Введение.
Свойства силицидов.
Термодинамические характеристики.
Образование силицидов и методы формировании силицидных пленок.
Окисление.
Производство интегральных схем.
Особые области применения.
Литература.
Предметный указатель.