Киев: Вища школа. Головное издательство, 1983. — 279 с.
В учебном пособии, охватывающем широкий круг задач расчета и конструирования полупроводниковых интегральных микросхем (ИМС), отражены вопросы технологии изготовления больших интегральных схем (БИС), анализ тепловых режимов, электромагнитных полей и механической прочности конструкций ИМС, расчет пассивных и активных компонентов биполярных и МДП-структур; описаны разновидности транзисторов, реализуемых в современных ИМС.
Значительное внимание уделено методам и алгоритмам автоматизированного проектирования полупроводниковых БИС: рассмотрены вопросы построения математических моделей компонентов и фрагментов БИС, используемых при машинном проектировании, а также особенности оптимизации параметров ИМС; представлены современные методы решения задач конструкторского этапа проектирования БИС. Дан краткий анализ перспективных направлений развития элементной базы полупроводниковых БИС, описаны принципы организации систем автоматизированного проектирования БИС.
Для студентов вузов, специализирующихся по микроэлектронике. Может быть полезно инженерам, занимающимся разработкой ИМС.
Предисловие.
Введение.
Общие вопросы проектирования БИС.
Основные технологические процессы изготовления полупроводниковых ИМС.
Тепловой расчет ИМС.
Моделирование электрических и магнитных полей конструкций БИС.
Расчет механической прочности конструкций БИС.
Проектирование биполярных структур.
Интегральные транзисторы.
Пассивные компоненты ИМС.
Модели компонентов биполярным структур.
Упражнения.
Проектирование МДП-структур.
МДП-транзисторы с индуцированным каналом.
Разновидности униполярных приборов.
Прибора с зарядовой связью.
Основные каскады МДП-БИС.
Упражнения.
Элементная база БИС.
Логические ИМС на биполярных транзисторах.
Логические ИМС на МДП-транзисторах.
Сравнение различных логических ИМС.
Ячейки запоминающих устройств.
Новые направления в разработке ИМС.
Проектирование топологии БИС.
Компоновка микроэлементов.
Размещение микроэлементов.
Трассировка соединений элементов БИС.
Упражнения.
Машинное проектирование топологии БИС.
Основные этапы автоматизированного проектирования топологии БИС.
Специализированные САПР топологии БИС.
Построение математических моделей и оптимизация узлов ИМС.
Список литературы.