Филатов И.Н., Бакрунов О.А., Панасенко П.В. Микроэлектроника. Книга 7. Микроэлектронные СВЧ-устройства

Учебное пособие для втузов. — В 9 книгах. — Под редакцией Л.А. Коледова. — Москва: Высшая школа, 1987. — 94 с.Рассмотрены принципы расчета, конструирования и технология изготовления микроэлектронных устройств СВЧ; принципы работы фазированных и активных фазированных антенных решеток, вопросы комплексной микроминиатюризации, разработки полупроводниковых микросхем диапазона СВЧ и перспективы их развития.Предисловие.
Введение.Вопросы конструирования и расчета гибридных микросхем.
Структура современной радиоэлектронной аппаратуры.
Основные иерархические уровни и уровни межсоединений микроэлектронной аппаратуры СВЧ.
Основные этапы разработки микроэлектронной аппаратуры СВЧ.
Элементы микроэлектронных устройств СВЧ.
Полупроводниковые приборы СВЧ.
Корпуса блоков СВЧ.
Математическая модель оптимизации и прогнозирования массы устройства СВЧ.Особенности производства микроэлектронных устройств СВЧ.
Конструктивно-технологические погрешности изготовления гибридных тонкопленочных микросхем.
Особенности выбора и требования к подложкам микросхем.
Особенности формирования геометрии и структуры микрополосковых линий.
Монтаж гибридных микросхем.
Требования к точности установки, совмещения и присоединения гибридных микросхем.
Конструктивно-технологические методы монтажа.Фазированные антенные решетки.Полупроводниковые интегральные микросхемы диапазона СВЧ.
Арсенид галлия — материал для микросхем СВЧ.
Технологический маршрут изготовления полупроводниковых микросхем СВЧ.
Направления развития микросхем СВЧ на арсениде галлия.Заключение.
Список литературы.